f3mirrorには内径52cmの真空蒸着装置を保有し、48cmまでの鏡の真空蒸着をおこなうことができます。 f3mirrorで研磨した鏡はこの真空蒸着装置を使用してコーティングを行います。 また、真空蒸着のみのご依頼も受けることができますのでご相談ください。
この蒸着装置は抵抗加熱方式の蒸着装置で、加熱フィラメントを４組内蔵しています。 通常はその内２組をアルミ用、残り２組を保護膜のSiO2用で使い分けしています。
真空蒸着はガラス基板の上に金属であるアルミを薄く貼り付けるのですがガラス表面が原子レベルで汚染されているとガラスとアルミの密着が阻害され容易に剥離してしまいます。 このガラス表面の汚染を除去するために、8Pa程度の真空中で鏡をプラズマに浸しガラス表面に空気分子を衝突させることで汚染物質を弾き飛ばし洗浄します。プラズマ処理中は真空容器の中が薄紫色の空気の励起光で満たされ幻想的な世界となります。
プラズマ処理の後、さらに真空度を８×10-3Paまで高めた後に鏡の表面にアルミと保護膜のSiO2を成膜します。
ご依頼は以下の様式にご記入の上、お申込み願います。